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薩特隆維修／Ｓａｔｉｓｌｏｈ專業(yè)維修１８０１９７０９９８６ 產(chǎn)品技術(shù)特點： １、真空腔室的模塊化設(shè)計和加工。通過此項技術(shù)提高了腔室設(shè)計和加工效率，提高了重大部件的加工質(zhì)量和互換性，縮短了整條線的交貨周期。 ２、使用高性能旋轉(zhuǎn)陰極和中頻電源，最大蒸發(fā)電流達到４００Ａ，大大提高生產(chǎn)效率及膜層性能； ３、通過輔助５段供氣，提高真空環(huán)境工藝氣體分布均勻性，提高膜層質(zhì)量； ４、安裝整體式模塊化陰極屏蔽擋板，大大減少維修時間，降低維修成本。 ５、陰極采用隔離冷卻裝置，改變以往陰極磁鋼因工作在循環(huán)水中不斷吸附雜質(zhì)而影響磁場強度和壽命。新方法使磁鋼工作在真空環(huán)境，大大提高了陰極穩(wěn)定性和壽命。 ６、采用自主研發(fā)的傾斜式磁鋼矩陣排列，擴大了陰極靶材表面氣隙場范圍，增大了靶材被刻蝕濺射的面積，提高靶材的利用率和均勻性。表面氣隙場水平分量均勻性在±２％以內(nèi)。 ７、使用自主研發(fā)的三維空間磁場測量分析系統(tǒng)，系統(tǒng)用于測量磁鋼陣列的空間氣隙場分布及磁鋼安裝、調(diào)整，為陰極研發(fā)提供有效的技術(shù)手段。 ８、觸摸屏＋ＰＬＣ，可以實現(xiàn)電腦全自動控制，自動＼手動隨時切換。 ９、同時配備先進的圓柱磁控濺射裝置和高效的電阻加熱蒸發(fā)裝置，將磁控濺射技術(shù)和加熱蒸發(fā)技