國家有色金屬及電子材料分析測試中心,針對單晶基片及其完美性分析或點陣失配外延層薄膜(晶體完整性和異質(zhì)外延結(jié)構(gòu)),通過高分辨X射線衍射測量(X射線雙晶衍射搖擺曲線)提供微結(jié)構(gòu)、微成分和微缺陷等方面的大量信息。
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