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千級(jí)無塵車間/1000級(jí)無塵車間/無塵車間
無塵車間相關(guān)知識(shí)
如何進(jìn)入無塵無塵車間？
1、  任何進(jìn)入無塵無塵車間的人，必須先進(jìn)入無塵更衣室，穿上無塵帽、無塵口罩、無塵衣、靜電防塵手套、無塵褲、無塵靴（如圖①所示）。經(jīng)過這套外形很“酷”的防塵裝備可將人們身上已有的灰塵隔離在無塵無塵車間之外，但這才是第一步。
2、  接著就要進(jìn)入風(fēng)淋室。所謂風(fēng)淋室是指一條“吹風(fēng)的長(zhǎng)廊”，不過在這條長(zhǎng)廊中吹出來的強(qiáng)風(fēng)是沒有任何靜電存在的離子風(fēng)。這種離子風(fēng)所具有的中和能力可以將人身上的正負(fù)電荷中和，而且依靠靜電黏附在毛發(fā)、衣服上的灰塵也會(huì)自動(dòng)脫落并粘在地板上的藍(lán)色洗塵墊上（如圖②所示）。
3、  走過風(fēng)淋室后，就進(jìn)入無塵無塵車間了。如果無塵無塵車間生產(chǎn)的產(chǎn)品要防靜電，則還要經(jīng)過“靜電橋”徹底地消除身上的靜電。若進(jìn)入百級(jí)無塵車間還重復(fù)2、3步驟動(dòng)作。什么是無塵概念？按照國(guó)際慣例，無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。  如表1所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。表1
  A級(jí) B級(jí)
C級(jí)粒徑
≤0.5
≤0.5 ≤0.5個(gè)數(shù) ≤3500
≤10000 ≤18000
無塵車間的動(dòng)線規(guī)劃
所謂[動(dòng)線]，是指人員、原料之入室路線，與人員與成品的出室路線。規(guī)劃時(shí)，要檢討分析人(車)路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)之流程等，盡量縮短動(dòng)線，并避免交叉，以防止交叉污染(Cross
Contamination)。要點(diǎn)：
1．
作業(yè)者、材料、化學(xué)藥品等動(dòng)線勿集中。
2．
制造裝置之出入，需不對(duì)作業(yè)產(chǎn)生大影響。
3．
超無塵車間四周，宜設(shè)緩沖區(qū)(即較差無塵區(qū))。無塵車間的規(guī)劃
一般性的規(guī)劃重點(diǎn)
無塵車間的整廠規(guī)劃(Turn Key
Projects)(如表3-1)，因涉及范圍極廣，需建筑、水電、空調(diào)、環(huán)保、防震、制造等各項(xiàng)專業(yè)人才共同規(guī)劃，盡管不少無塵車間規(guī)劃，多需要就于既有的建筑物，然而，為避免失誤應(yīng)盡可能事先確認(rèn)下列事項(xiàng)：
1. 潔凈度等級(jí)。 2.
室壓之平衡措施。
3. 溫濕度要求。 4.
機(jī)器設(shè)備之必要性。