產(chǎn)品說明:
產(chǎn)品名稱:ZSX系列光學真空鍍膜機
產(chǎn)品描述: 主要用于在玻璃鏡片上鍍制增透膜、分光膜、帶通膜/截止膜、高反膜等各種膜系,能夠?qū)崿F(xiàn)100層膜的超大型膜系鍍膜,也能滿足在樹脂鏡片上鍍制各種顏色的增透膜,及在玻璃、亞克力、水晶等材質(zhì)上鍍制紅、黃、藍、綠、干邑、七彩等顏色的反光膜、裝飾膜。
產(chǎn)品詳情說明:
主要特點:
1.配置超大坩堝電子槍,整個蒸發(fā)過程中膜料表面平整,蒸發(fā)分布均勻;
2.配置石英晶體膜厚控制儀可實現(xiàn)成膜速度和鍍膜過程的自動控制;
3.配置大功率離子源,膜厚質(zhì)量好;
4.總體結(jié)構設計合理,更符合工藝要求,真空系統(tǒng)采用無油系統(tǒng),可保證整個系統(tǒng)在無油狀態(tài)下工作;
5.真空操作系統(tǒng)實現(xiàn)互鎖保護,斷水、斷電報警功能。
6.采用觸摸屏和PLC自動控制,實現(xiàn)對整機主要部件的參數(shù)化設置、實時運行監(jiān)控及故障智能診斷。
主要配置:
1.真空室采用立式前開門箱形結(jié)構,全不銹鋼箱體,內(nèi)腔尺寸Φ800mm~Φ1400mm;
2.真空系統(tǒng)采用分子泵,前級泵采用無油真空泵;
3.采用一套水汽低溫捕集器作為真空輔助抽氣;
4.工件架:行星輪或整體工件盤,可根據(jù)客戶要求定制;
5.鍍膜系統(tǒng):配1~3套大功率e型磁偏轉(zhuǎn)2700電子槍及多穴位坩堝,輔助鍍膜系統(tǒng)配霍爾離子源。
6.烘烤:數(shù)顯自動控溫,溫度控制精度±1.5℃
7.膜厚控制:石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng),可控制電子槍蒸發(fā)速率,精確控制膜層厚度,手動和自動控制實現(xiàn)方便切換;光學膜厚監(jiān)控系統(tǒng),透射或反射光路,監(jiān)控波長范圍200-900nm。
8.控制系統(tǒng):真空控制采用工控機及可編程序控制器控制。
技術**能參數(shù):
1.極限真空:≤5×10-4Pa
2.二次恢復時間:從1×105Pa至2×10-3Pa<10min。
3.設備總尺寸4.5×4.5×2.6
4.加熱溫度:常溫至350度
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