無(wú)錫市 誠(chéng)宇冶金設(shè)備制造有限公司

藍(lán)寶石爐銅電極的加工工藝： 
      ①鍛造藍(lán)寶石爐銅電極毛坯
          ②粗加工藍(lán)寶石爐銅電極毛坯
          ③加工中心加工寶石爐銅電極冷卻水槽；

    ④寶石爐銅電極精加工，形位尺寸；

    ⑤焊接寶石爐銅電極兩頭及電極桿；

    ⑥寶石爐銅電極漏水試驗(yàn)；

    ⑦寶石爐銅電極表面鈍化處理；

    ⑧寶石爐銅電極二次漏水試驗(yàn)；

          ⑨寶石爐銅電極合格成品木箱包裝出廠。

導(dǎo)電電極（走水電極、長(zhǎng)晶爐主導(dǎo)電體）

是藍(lán)寶石長(zhǎng)晶真空爐的重要部件之一，是爐內(nèi)加熱熱場(chǎng)與爐外電源的連接通道；在爐內(nèi)與熱場(chǎng)（鳥籠）直接搭接，延伸到爐外的導(dǎo)電柱通過(guò)導(dǎo)電夾、軟連接與電源柜連接。

該部件的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，精度要求高，加工難度較大，主要體現(xiàn)在：

（1）導(dǎo)電柱與爐蓋的結(jié)合：

導(dǎo)電電極是在藍(lán)寶石長(zhǎng)晶真空爐膛內(nèi)，要穿過(guò)爐蓋與外部電源連接，所以電極4個(gè)導(dǎo)電柱之間的公差要求非常嚴(yán)格，要和爐蓋上的4個(gè)孔位距離完全一致。如有誤差將不能裝配。

（2）導(dǎo)電電極在加工過(guò)程中變形的問(wèn)題：

電極是純銅原料加工而成，從原材料到成品，要經(jīng)過(guò)很多道工序，每道工序都會(huì)產(chǎn)生應(yīng)力，故容易變形。尤其是在最后的焊接工序，因?yàn)楹附舆^(guò)程產(chǎn)生的熱量會(huì)使應(yīng)力釋放，工件很可能會(huì)嚴(yán)重變形，精加工的所有公差尺寸都會(huì)受到影響，且無(wú)法調(diào)整。

（3）電機(jī)冷卻水的走水密封：

電極的截流能力遠(yuǎn)大于導(dǎo)電要求，故導(dǎo)電電極自身不會(huì)發(fā)熱，但真空長(zhǎng)晶爐內(nèi)雖有隔熱裝置還有較高的溫度傳導(dǎo)到電極。加熱熱場(chǎng)的電熱絲通過(guò)導(dǎo)電環(huán)會(huì)直接把熱量傳導(dǎo)到電極。所以電極必須要通水冷卻來(lái)保證電極的正常工作，真空長(zhǎng)晶爐是高溫高真空的工作環(huán)境才能有效長(zhǎng)出晶體。故對(duì)電極的主體與導(dǎo)電柱、走水槽、工藝孔堵頭部分的焊接有非常嚴(yán)格的要求。既不能因焊接降低導(dǎo)電率，又絕對(duì)不能有任何細(xì)微的滲漏，否則就達(dá)不到真空要求，長(zhǎng)不出晶體。

我們通過(guò)與眾多科研單位的密切合作，參考多家國(guó)外公司先進(jìn)產(chǎn)品的成功經(jīng)驗(yàn)，利用國(guó)內(nèi)外的先進(jìn)設(shè)備，攻破了各個(gè)環(huán)節(jié)上的技術(shù)難題，成功開發(fā)出了藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐專用電極。