【涂覆加工】涂覆加工深圳東田 Parylene采用一種獨(dú)特的化學(xué)氣相沉積工藝(CVD),CVD工藝最早應(yīng)用在半導(dǎo)體工業(yè)的外延生長,整個(gè)過程是氣態(tài)反應(yīng),又在真空條件下進(jìn)行,因而可以獲得非常均勻的涂層,達(dá)到其它方法難以實(shí)現(xiàn)的同形性。 氣態(tài)單體進(jìn)入沉積腔室,首先彌漫在工件表面,當(dāng)吸附到各個(gè)表面后開始聚合和結(jié)晶,直接形成固體,避免了液相的出現(xiàn),清除了厚度的不均勻和涂層中的缺陷. Parylene是在專用的真空氣相沉積設(shè)備中,通過升華(120℃/1.33Mpa)→裂解(650℃/1.33Mpa)→氣化(120℃/1.33Mpa)→沉淀涂層(25℃/1.33Mpa)→ 這幾個(gè)步驟來完成對工件表面的涂膜。 1,在真空狀態(tài)下和120度的條件下將固態(tài)原料升華成氣態(tài) 2,在650度將氣態(tài)原料裂解成具有反應(yīng)特性的活性單體。 3,活性單體在室溫條件下沉積并聚合 涂膜的工藝特點(diǎn): 與通常的浸涂、噴涂、電鍍、電泳等工藝不同的是,該工藝在預(yù)處前無需對工件進(jìn)行酸洗、磷化,有效地防止了工件內(nèi)因殘留酸和水及氧氣而引起的由內(nèi)而外的腐蝕現(xiàn)象。 由于Parylene是在真空環(huán)境中作氣相沉積,因而陡直的邊沿、裂縫、還是細(xì)微的針孔內(nèi)壁,都能進(jìn)行有效的滲透,且各處均勻一致。其生成的透明膜層厚度可以輕易地控制在0.1-100微米之內(nèi)。 PARYLENE膜層的主要特點(diǎn): ★可形成無針孔膜層; ★可得到極薄的膜層; ★可精確地控制膜層厚度; ★各處厚度均勻一致; ★有極好的防潮濕性能; ★可以抗風(fēng)化 ★可防止產(chǎn)品表面微粒脫落; ★材料無色并高透明度 ★具有極高的絕緣強(qiáng)度; ★ 高熱穩(wěn)定性(使用溫度可高達(dá)400℃) 深圳市東田精密光電有限公司 電話:13823121472 聯(lián)系人:張小姐 QQ:1311719714 傳真:0755-28110952 網(wǎng)站:www.dt-parylene.com 地址:深圳市寶安區(qū)龍華大浪賴屋山第一工業(yè)區(qū)一棟
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