廣州譚美電子科技有限公司

Heatpulse 4100快速退火爐

原制造商：AG Associates
設備類型：快速退火爐
AG Associates Heatpulse 4100系列快速退火系統(tǒng)具有成本低，適用面廣等優(yōu)點。是專門為半導體器件生產廠家快速退火工藝設計制造的退火系統(tǒng)，被廣泛應用驗證。該系統(tǒng)采用自動傳片系統(tǒng)(Video)，適用于標準硅片、復合半導體材料和其他材料的晶片，晶片尺寸可從3英寸到6英寸。操作簡便，自動化程度高，已廣泛應用在半導體制造產業(yè)。
Heatpulse 4100優(yōu)越的工藝控制： 單片，閉環(huán)溫度控制；
快速升溫與降溫控制；
工藝重復性高；
4組加熱燈可分別控制，提高溫場均勻性。Heatpulse 4100工藝用途： 離子注入后快速退火；
歐姆接觸快速合金；
硅化物合金退火；
氧化物生長；
其它快速熱處理工藝。Heatpulse 4100 同管式高溫爐的比較： 一般管式高溫爐只能設定一個工藝條件，即一個溫度；
工藝周期長，使用不太靈活；
須24小時加電恒溫，能耗較高；
快速退火爐可以設定多個工藝條件，即多種溫度；
快速退火爐工藝時間短，使用非常靈活；
快速退火爐能耗很低；
快速退火爐同一臺設備既可用作生產，也可用作科研，且任何科研工藝條件不會對生產工藝造成影響。Heatpulse 4100 同其他同類快速退火爐的比較： 更廣泛被行業(yè)使用，市場保有量第一
更容易取得備件
成本低
更容易取得服務   

廣州譚美電子科技有限公司（www.tanmytech.com）（ sales@tanmytech.com）代理多家美、歐一流的半導體設備公司的產品，公司主要經營高真空磁控濺射設備、量測設備、涂膠顯影設備、PECVD設備、RIE/ICP/DRIE深刻蝕設備、電子掃描顯微鏡、快速退火、等離子去膠、等離子刻蝕、電子束蒸發(fā)、濕法工藝設備。

我們擁有廣泛的采購網絡、強大的專業(yè)設備服務隊伍、先進的質量檢驗檢測手段和國際領先的軟件開發(fā)和升級技術，可為客戶提供各類進口半導體設備及備品備件、并提供長期優(yōu)質的售后服務及技術支持保障。通過技藝精湛的設備生產、翻新，保證我們的設備具有出色的運作表現(xiàn)，能夠滿足客戶的多種需求，降低客戶的生產成本。
TanmyTech(www.tanmytech.com)致力于為客戶提供完善的服務與支持，以高質量的產品、優(yōu)質的服務、合理的價格來滿足各類客戶需求是我們一貫的經營理念和宗旨，為中國半導體工業(yè)、微電子工業(yè)、航天航空、研究機構、高等院校、私營和合資企業(yè)提供優(yōu)質設備和售后服務，為廣大用戶提供高科技、高性價比產品，確保用戶核心利益，全力滿足用戶的需求，為他們提供專業(yè)的技術、專注的服務，共創(chuàng)雙贏互利的合作關系。

經營產品：

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零件銷售：

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