LM滾珠滾動(dòng)塊 LR1547Z LR2055Z LR2565Z LR3275Z LR50130 LRA1547Z LRA2055Z LRA2565Z LRA3275Z LRA4095 LRA50130 THK直線導(dǎo)軌的材料與測(cè)量 THK直線導(dǎo)軌是集精密位置檢測(cè)技術(shù)、驅(qū)動(dòng)技術(shù)、直線導(dǎo)向技術(shù)、控制技術(shù)等多項(xiàng)技術(shù)為一體的有機(jī)綜合體。在這些技術(shù)中,如果某一個(gè)方面得到改進(jìn)或提高,將使THK直線導(dǎo)軌整體性能得到提高。如,當(dāng)工件臺(tái)驅(qū)動(dòng)方法是采用直接驅(qū)動(dòng)而不是間接驅(qū)動(dòng)時(shí),由于減少了傳動(dòng)鏈長(zhǎng)度和傳動(dòng)環(huán)節(jié)中的誤差傳遞,將使工件臺(tái)的精度、速度和加速度性能都得到提高。因此應(yīng)當(dāng)及時(shí)引用新材料、新技術(shù)來(lái)滿足工件臺(tái)發(fā)展的需要。 研究光刻技術(shù)的同時(shí),也積極開展對(duì)工件臺(tái)的研究,不斷研制出高精度、高速度、大行程的工件臺(tái)來(lái)滿足光刻技術(shù)發(fā)展的需要。在過去的幾十年里,應(yīng)用于光刻技術(shù)中的THK直線導(dǎo)軌在材料、測(cè)量技術(shù)、驅(qū)動(dòng)技術(shù)、控制技術(shù)等方面有了長(zhǎng)足的進(jìn)步,使工件臺(tái)朝高精度、高速度、大行程的方向發(fā)展?,F(xiàn)列舉如下: 1.材料. 工件臺(tái)中所用的材料直接影響著工件臺(tái)的性能,如,應(yīng)盡量采用低密度、高剛度的材料,這樣可以減輕系統(tǒng)的重量,提高整個(gè)系統(tǒng)的剛度,從而提高工件臺(tái)的動(dòng)態(tài)性能。為此,通常采用鋁合金、碳化硅等密度小、楊氏模量大的材料 為了減少溫度、振動(dòng)等外界環(huán)境對(duì)工件臺(tái)精度的影響,對(duì)工件臺(tái)所在的環(huán)境要采取嚴(yán)格的溫度控制和隔振措施 在工件臺(tái)的測(cè)量系統(tǒng)中常用殷鋼作為基座,采用零膨脹玻璃作為基準(zhǔn)反射鏡材料。近年來(lái)研究人員利用Zerodur(微晶玻璃材料的一種)的低膨脹系數(shù)和良好的加工性能,加工制作工件臺(tái)中的測(cè)量部件和其他重要零件。表1-1列舉了工件臺(tái)中常用的幾種材料的特性。 天津昶晟隆機(jī)械配套設(shè)備商貿(mào)有限公司,是日本THK集團(tuán),韓國(guó)SBC線性導(dǎo)軌滑塊,臺(tái)灣HIWIN導(dǎo)軌滑塊,銀泰PMI直線導(dǎo)軌,ABBA直線導(dǎo)軌,CPC直線導(dǎo)軌,TBI線性滑軌,STAF直線導(dǎo)軌的代理銷售商。如貴公司長(zhǎng)期使用特定的型號(hào)、定期維修需要的配件,可以跟我司銷售人員聯(lián)系,我公司可以提前給您備貨,以滿足您正常生產(chǎn)使用的需要。歡迎您通過以下方式與我公司聯(lián)系。 地址:天津南開區(qū)密云路39號(hào) 電話:022-27695326 傳真:022-27693648 郵箱:tjcsljx@126.com 聯(lián)系人:張先生(13821823302) QQ咨詢:1873330965 、1398217820 、 761233601 天津昶晟隆網(wǎng)址:http://www.tjcsl.cn
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