上海兆茗電子科技有限公司

GAGETEK傳感器

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成立超過(guò)10年的GAGETEK數(shù)字輸出用于運(yùn)輸，物料處理和專門的稱重傳感器技術(shù)應(yīng)用的目的。一路上，GAGETEK的工程師開(kāi)發(fā)了一種革命性的新扭轉(zhuǎn)載荷細(xì)胞，可以容忍斷軸負(fù)載，GAGETEK最優(yōu)秀的新產(chǎn)品在行業(yè)內(nèi)獲得了稱贊。其中一個(gè)最有趣的產(chǎn)品，GAGETEK已經(jīng)開(kāi)發(fā)出便攜式秤包的動(dòng)物園，讓動(dòng)物園的平臺(tái)，展示區(qū)，和工作人員只需要攜帶手提秤系統(tǒng)的展出面積，把平臺(tái)負(fù)載細(xì)胞和動(dòng)物可以被測(cè)量。在過(guò)去的一年中，GAGETEK已經(jīng)開(kāi)發(fā)了一個(gè)定制的規(guī)模與電子監(jiān)控量在20磅的丙烷罐丙烷-這是常用的燒烤爐，戶外取暖器。

GAGETEK稱重傳感器實(shí)際上是一種將質(zhì)量信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)榭蓽y(cè)量的電信號(hào)輸出的裝置。GAGETEK稱重傳感器應(yīng)用：離軸加載和非平行安裝不敏感；堅(jiān)固耐用的設(shè)計(jì)，耐沖擊負(fù)荷，過(guò)載高達(dá)15X；不需要昂貴的安裝結(jié)構(gòu)；高靈敏度，高分辨率；通孔設(shè)計(jì)，方便安裝；表面可進(jìn)行鉆孔和攻絲。

角速度傳感器裝置

摘要

車架體和音叉型振動(dòng)子是由一個(gè)單一的晶體硅基板的。 振動(dòng)元件具有延伸相互平行臂。 在框體的各邊都位于面對(duì)面地與從臂一個(gè)預(yù)定的距離。 薄部位于部分在振動(dòng)元件的臂厚部之間形成的。 壓電性元件，用于檢測(cè)角速度被設(shè)置在薄的部分。 當(dāng)靜電力的框體和臂的雙方施加的武器很高興振動(dòng)。 在這個(gè)時(shí)候，當(dāng)角速度施加，臂振動(dòng)的方向交叉成直角的方向興奮。 壓電性元件檢測(cè)所引起的角速度與穩(wěn)定特性和更高的靈敏度臂的振動(dòng)。

描述：

本角速度傳感器元件由具有預(yù)定厚度t1，在單晶硅襯底1。 在硅襯底1包括P-型單晶硅襯底1a和上外延生長(zhǎng)N型硅層1b在其上。 方形環(huán)狀框架體2和一個(gè)音叉形的振動(dòng)子3頃dividably通過(guò)蝕刻預(yù)定區(qū)域出來(lái)的單結(jié)晶硅基板1與切割它們與金屬模具形成。 框體2是由一個(gè)底部2a，一頂部2b和兩個(gè)側(cè)部2c和2d的。 音叉型振動(dòng)子3由底部2a支撐。 底部部分2a與框體2的頂部2b在x軸方向延伸，而側(cè)面部分2c和2d在z軸方向延伸。

在本實(shí)施例中，側(cè)部2c中的框體2和2d都固定電極部分。

振動(dòng)元件3包括一對(duì)臂4和5延伸的互相平行的，并在連接臂4和5在框體2的連接部6。 側(cè)部2c與框體2的2d是設(shè)置面對(duì)面與從沿z軸方向延伸的每個(gè)臂4和5的預(yù)定空間。

兩個(gè)臂4和5中的振動(dòng)元件3的是棱柱形。 薄的部分9，這是一個(gè)部分變薄，在y軸方向上，形成在厚部7和8之間的臂4的中間。 厚部7更靠近于臂4的端部比薄的部分9用作質(zhì)量（重量部）。 薄部12類似地形成在厚部分10和11之間的臂5的中間。 厚壁部10位于更靠近于臂5的端部比薄的部分12用作一個(gè)質(zhì)量（重量部）。 此外，兩個(gè)臂4和5連接到振動(dòng)元件3的連接部6通過(guò)根部分4a和5a減薄在x軸方向，分別為。

壓電抗元件13a，13b作為應(yīng)變敏感元件形成在臂4的薄壁部9的N型硅層1b上。 壓電性元件14a和14b也形成在臂5的薄壁部12的N型硅層1b。 窗扇或帶狀的壓電性元件13a和13b，14a和14b是由摻雜的N型硅層1b與P型雜質(zhì)而形成的。 而壓電性元件13a和14a在Z軸方向延伸，在壓電性元件13b和14b中在x軸方向延伸。

的P型雜質(zhì)擴(kuò)散區(qū)15，擴(kuò)散深度，其中到達(dá)P型單晶硅基板1a，形成在上面的框體2的側(cè)部2c的底面的N型硅層1b。 到達(dá)P型單晶硅襯底1a中的P型雜質(zhì)擴(kuò)散區(qū)16也形成于框體2的側(cè)部2d底部的N型硅層1b。 PN結(jié)的P型雜質(zhì)擴(kuò)散區(qū)15和16分離并分開(kāi)框體2從N型硅層的其他區(qū)域1b中（2B，2C的底部2a的N型硅層1b和2D）。 也就是說(shuō)，在振動(dòng)元件3和框體2的底部2a上的N型硅層1b是電從上方部分2b上的N型硅層1b和側(cè)部2c和的二維分離框體2。 在側(cè)部2c與框體2的2d中的N型硅層1b為固定電極，并在該振動(dòng)元件3的N型硅層1b（更具體地說(shuō)，臂4和5）作為一個(gè)被激發(fā)的可動(dòng)電極。

一系列的正方形電極（鍵合焊區(qū)）17，18，19，20和21被設(shè)置在框體2的底部2a的表面上。 與在框體2的底部2a上的N型硅層1b的電極21電接觸。

方的電極（鍵合焊區(qū)）22和23被設(shè)置在側(cè)部2c與車架體2的2d的表面上。 兩個(gè)電極22和23與在側(cè)部2c和2d中的N型硅層1b和框體2的上半部分2b的電接觸。

主要型號(hào)：2000系列、4000系列 18001897338